本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

  重要内容提示：

  ● 被担保人名称：上海至纯系统集成有限公司（以下简称“系统集成”）、上海至纯半导体设备有限公司（以下简称“至纯半导体”）、江苏启微半导体设备有限公司（以下简称“江苏启微”）、上海波汇科技有限公司（以下简称“波汇科技”）。

  ● 本次担保金额：

  因上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“至纯科技”）及子公司向银行申请综合授信事宜，至纯科技及子公司系统集成、至纯半导体、江苏启微与汇丰银行（中国）有限公司上海分行分别签订了《保证书》、《授信合同》，至纯科技为系统集成、至纯半导体、江苏启微合计最高不超过1,600万美元的债务金额提供保证。至纯科技与系统集成、至纯半导体、江苏启微共用1,500万美元的授信额度，其中：至纯半导体授信额度不超过500万美元。本次综合授信公司提供担保金额折合人民币约10,400万元。

  因公司全资子公司波汇科技向银行申请贷款事宜，公司与中国民生银行股份有限公司上海分行签订了《最高额保证合同》。本次公司为波汇科技提供担保金额为2,000.00万元人民币，授信期限为一年。

  本次担保事项后的累计担保金额，均在公司 2021 年年度股东大会批准的担保额度范围内。

  ● 本次担保是否有反担保：无

  ● 对外担保逾期的累计数量：无

  ● 特别风险提示：本次被担保人系统集成、至纯半导体2021年末资产负债率超过70%，敬请投资者注意相关风险。

  一、担保情况概述

  经公司2021年年度股东大会审议通过，同意公司2022年度为资产负债率超过70%的子公司担保额度预计为8.25亿元，为资产负债率低于70%的子公司担保额度预计为11.75亿元。详情请见公司分别于2022年4月30日和2022年5月27日在上海证券交易所网站《关于2022年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2022-042）和《2021年年度股东大会决议公告》（公告编号：2022-064）。

  因公司及子公司向银行申请综合授信事宜，至纯科技及子公司系统集成、至纯半导体、江苏启微与汇丰银行（中国）有限公司上海分行分别签订了《保证书》、《授信合同》，至纯科技为系统集成、至纯半导体、江苏启微合计最高不超过1,600万美元的债务金额提供保证，至纯科技与系统集成、至纯半导体、江苏启微共用1,500万美元的授信额度，其中：至纯半导体授信额度不超过500万美元。本次综合授信公司提供担保金额折合人民币约10,400万元。

  因公司全资子公司波汇科技向银行申请贷款事宜，公司与中国民生银行股份有限公司上海分行（以下简称“民生银行”）签订了《最高额保证合同》。本次公司为波汇科技提供担保金额为 2,000.00 万元人民币，授信期限为一年。

  本次担保事项后的累计担保金额，均在公司 2021 年年度股东大会批准的担保额度范围内。

  二、被担保人基本情况

  1、上海至纯系统集成有限公司

  ■

  上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

  2、上海至纯半导体设备有限公司

  ■

  上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

  3、江苏启微半导体设备有限公司

  ■

  上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

  4、上海波汇科技有限公司

  ■

  上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

  三、协议主要内容

  1、《授信合同》、《保证书》

  （1）合同签署人

  保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

  债权人：汇丰银行（中国）有限公司上海分行

  债务人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司、上海至纯系统集成有限公司、上海至纯半导体设备有限公司、江苏启微半导体设备有限公司

  （2）最高债务保证金额：16,000,000美元的等值人民币

  （3）总授信金额：最高不超过15,000,000美元，其中：上海至纯半导体设备有限公司授信不超过5,000,000美元。

  （4）保证方式：连带责任保证

  （5）保证范围：最高债务额及其产生的违约利息和其他开支（包括律师费）等。

  （6）保证期间：至债权确定期间终止之日起三年。

  2、《最高额保证合同》

  （1）合同签署人

  保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

  债权人：中国民生银行股份有限公司上海分行

  债务人：上海波汇科技有限公司

  （2）担保最高额度：人民币贰仟万元整

  （3）保证方式：不可撤销连带责任保证

  （4）保证范围：主债权本金及其利息、罚息、复利、违约金、损害赔偿金及实现债权和担保权利的费用。

  （5）保证期间：就任何一笔具体业务而言，保证人承担保证责任的保证期间为该笔具体业务项下的债务履行期限届满日起三年。

  四、履行的相关程序

  本次担保事项已经公司2021年年度股东大会审议通过，详见公司分别于2022年4月30日和2022年5月27日在上海证券交易所网站《关于2022年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2022-042）和《2021年年度股东大会决议公告》（公告编号：2022-064）。

  五、公司累计对外担保情况

  截至本公告日，公司实际对外担保总额为83,901万元人民币，占上市公司2021年度经审计归属于上市公司股东净资产的20.63%。截至目前，公司不存在对全资及控股子公司以外的担保对象提供担保的情形，公司及控股子公司不存在逾期担保的情形。

  特此公告。

  上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

  2022年7月15日