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　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 被担保人名称及是否为关联担保：至微半导体（上海）有限公司（以下简称“至微半导体”）、上海至嘉半导体气体有限公司（以下简称“至嘉半导体”）。本次担保为对全资及控股子公司提供的担保，不属于关联担保。

　　● 本次担保金额及已实际为其提供的担保余额：本次因公司全资及控股子公司至微半导体、至嘉半导体向银行申请授信贷款事宜，公司与大连银行股份有限公司上海分行、上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行签订了《最高额保证合同》《保证合同》。本次公司为至微半导体提供担保金额为6,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为47,200万元；本次公司为至嘉半导体提供担保金额为20,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为0万元。本次担保事项后的累计担保金额，均在公司股东大会批准的担保额度范围内。

　　● 本次担保是否有反担保：无

　　● 对外担保逾期的累计数量：无

　　● 特别风险提示：本次被担保人至嘉半导体2021年末资产负债率超过70%，敬请投资者注意相关风险。

　　一、担保情况概述

　　经上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）2021年年度股东大会和2022年第三次临时股东大会审议通过，同意公司2022年度为下属子公司提供担保总额度40亿元，其中为资产负债率超过70%的子公司提供担保额度17亿元，为资产负债率低于70%的子公司提供担保额度23亿元。详情请见公司分别于2022年4月30日和2022年8月2日在上海证券交易所网站《关于2022年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2022-042）和《关于增加2022年度授信及担保额度预计的公告》（公告编号：2022-090）。

　　近日，因公司全资及控股子公司至微半导体、至嘉半导体向银行申请授信贷款事宜，公司与大连银行股份有限公司上海分行、上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行签订了《最高额保证合同》《保证合同》。本次公司为至微半导体提供担保金额为6,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为47,200万元；本次公司为至嘉半导体提供担保金额为20,000万元，截至本公告日累计为其提供担保余额为0万元。本次担保事项后的累计担保金额，均在公司股东大会批准的担保额度范围内。

　　二、被担保人基本情况

　　1、至微半导体（上海）有限公司

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　2、上海至嘉半导体气体有限公司

　　上述数据为2021年度财务数据，以上数据已经审计。

　　三、协议主要内容

　　1、《最高额保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：大连银行股份有限公司上海分行

　　债务人：至微半导体（上海）有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币陆仟万元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：主合同项下债务人的全部债务，包括但不限于本金、利息、复利、罚息、违约金、损害赔偿金、汇率损失（因汇率变动引起的相关损失）、甲方（债权人）为实现债权、担保权而发生的所有费用（包括但不限于诉讼费/仲裁费、律师费、评估费、执行费、财产保全费、担保费、保险公司保单保函费、拍卖费、公告费、电讯费、差旅费、公证费、送达费、鉴定费等）以及债务人在主合同项下其他所有的应付费用；生效法律文书项下迟延履行期间的加倍部分债务利息或迟延履行金。

　　（5）保证期间：自主合同项下的借款期限届满之日起三年；甲方（债权人）根据主合同之约定宣布借款提前到期的，则保证期间为借款提前到期之日起三年。

　　2、《保证合同》

　　（1）合同签署人

　　保证人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司

　　债权人：上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行

　　债务人：上海至嘉半导体气体有限公司

　　（2）担保最高额度：人民币贰亿元整

　　（3）保证方式：连带责任保证

　　（4）保证范围：包括主合同项下的债务本金、利息、罚息、复利、违约金、赔偿金以及实现债权的费用。实现债权的费用包括但不限于催收费用、诉讼费或仲裁费、保全费、公告费、执行费、律师费、差旅费、公证费及其他费用。

　　（5）保证期间：保证人的保证期间为主合同约定的债务人履行债务期限届满之日起三年。主合同约定债务人分期履行还款义务的，保证期间按各期还款义务分别计算，自每期债务履行期限届满之日起三年。

　　四、履行的相关程序

　　本次担保事项已经公司2021年年度股东大会和2022年第三次临时股东大会审议通过，详见公司分别于2022年5月27日和2022年8月19日在上海证券交易所网站《2021年年度股东大会决议公告》（公告编号：2022-064）和《2022年第三次临时股东大会决议公告》（公告编号：2022-097）。

　　五、公司累计对外担保情况

　　截至本公告日，公司实际对外担保总额为146,790万元人民币，占上市公司2021年度经审计归属于上市公司股东净资产的36.10%。截至目前，公司不存在对全资及控股子公司以外的担保对象提供担保的情形，公司及控股子公司不存在逾期担保的情形。

　　特此公告。

　　上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

　　2023年3月23日

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